PTFE镊子是半导体、光伏无尘车间单片精密转运专用夹持工具,与PTFE晶圆架、硅片清洗夹、蚀刻槽篮成套配套使用,替代不锈钢、PEEK、PP材质镊子。解决金属镊子易析出重金属离子、产生静电击穿微电路,普通塑料镊子耐腐性差、高温软化、镊头毛刺刮伤晶片、超声易开裂掉屑的痛点,契合百级无尘车间洁净标准,贯穿晶圆、硅片、蓝宝石薄片全湿法与部分干法制程。
用于图形化晶圆单片无损取样与工位转运。图形化晶圆表层布满纳米级精密电路与光刻胶层,硬度极低,不锈钢镊子极易压伤电路、残留金属印记,常规塑料镊子摩擦产生静电击穿晶体管。PTFE材质表面摩擦系数极低,夹持时不会挤压形变晶片表层,且防静电,夹持、松取全过程无静电积聚,杜绝超薄外延晶圆静电崩裂、电路失效问题,适合人工无尘手套徒手操作。
适配各类强腐蚀药液内夹持作业。晶圆去胶、蚀刻、制绒、酸洗环节,需要在药液中直接夹取翻转晶片,常规塑胶镊子长期浸泡有机剥离液、氟系蚀刻液,会快速溶胀、镊口变形、释放塑胶微粒,粘附晶片造成外观不良。PTFE不溶于所有酸碱、有机溶剂,长期浸没腐蚀药液性能无衰减,镊口咬合精度始终稳定,不会出现打滑、夹取脱落导致晶片破碎。