PTFE四氟晶圆架耐HF耐高低温可定制低本底化学惰性强

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PTFE晶圆架是半导体后端湿法专属承载工装，区别于普通光伏硅片架，针对带电路、镀膜的精密图形化晶圆开发，和PTFE清洗夹、蚀刻槽篮、蚀刻台成套配套，替代PVDF、PP材质通用晶圆支架。解决普通支架卡槽棱角划伤光刻胶、长期药液浸泡析出氟离子、超声震动卡槽脱落碎屑污染晶圆电路、高温形变卡片等行业痛点，适配百级、千级无尘车间，广泛用于晶圆去胶、显影、蚀刻、漂洗、退火预处理全湿法工序。

用于图形化晶圆光刻胶剥离与显影清洗。晶圆光刻完成后，需使用有机剥离液、碱性显影液去除表层多余光刻胶，这类药液渗透性极强，普通塑胶支架长时间浸泡会溶胀变形，卡槽间隙收缩挤压晶圆，造成边缘电路崩损。PTFE晶圆架化学惰性稳定，不与有机、酸碱药液发生反应，卡槽间隙公差控制在±0.1mm，单片独立限位，杜绝晶圆贴合挤压，保证药液均匀接触晶圆正反面，显影、去胶一致性达标。

适配晶圆蚀刻后超声除颗粒与多级纯水漂洗。晶圆干法蚀刻后表面残留纳米级硅渣、聚合物副产物，必须通过超声清洗去除。该晶圆架镂空透水率达72%，声波穿透损耗极低，不会出现清洗死角；一体铣削结构无缝隙藏污，不会积存药液结晶二次划伤晶圆。同时镂空结构可快速沥干晶圆表面残液，避免残液风干后产生水印，防止表层氧化层不均匀生长，保障后续薄膜沉积良率。

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