PTFE硅片架子是半导体晶圆、光伏硅片、光学薄片加工制程的专用承载工装,全面替代塑料、PP、金属材质晶片支架。有效解决金属支架易析出金属离子、划伤晶片表面,普通塑料支架耐腐性差、腐蚀浸泡易溶胀掉屑、高温烘干易变形、静电吸附粉尘污染晶片的行业痛点。依托PTFE超低本底、防静电、强耐腐蚀、洁净度高、可循环复用的核心优势,专为晶片高洁净湿法工序设计,广泛用于制绒、蚀刻、清洗、漂洗、烘干、静置存放、工位转运等全流程作业,是光伏与半导体湿法制程的核心基础耗材。
适用于各类强腐蚀湿法工序分片承载作业。硅片、晶圆在生产过程中需要经过氢氟酸蚀刻、酸碱制绒、混酸清洗等强腐蚀工艺环节,传统支架无法耐受氟系药液长期浸泡,容易出现腐蚀发白、掉粉、结构松动等问题,造成晶片表面微粒污染、点位不良。PTFE硅片架化学惰性极强,不与各类腐蚀药液发生反应,全程无溶出、无掉屑、无结构老化,卡槽独立分片设计可避免晶片相互贴合摩擦、堆叠粘片,让药液全方位接触晶片表面,保证清洗、蚀刻、制绒效果均匀一致。
适配无尘车间烘干收纳与无损转运。晶片加工后需要纯水漂洗与恒温烘干,普通塑胶支架高温易软化变形,导致晶片歪斜、翘边、表面产生水印污渍,影响外观与电学性能。本品耐高温、结构稳定不变形,可直接放入烘箱恒温干燥,支撑平整、受力均匀,有效保障晶片版型平整。同时材质防静电,不会吸附车间浮尘、硅粉微粒,杜绝晶片二次污染,适配百级、千级无尘车间高标准生产工况,大幅提升晶片成品良率。