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荏原ESR100CN多级罗茨干式真空泵 厦门太星机电
荏原ESR100CN多级罗茨干式真空泵 厦门太星机电
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荏原ESR100CN多级罗茨干式真空泵 厦门太星机电

荏原ESR100CN多级罗茨干式真空泵 厦门太星机电

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黄锦辉(总经理)
15980886840
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厦门太星机电有限公司
厦门市集美区东安村前占早19号之二(法律文书送达地址)
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厦门太星机电有限公司

厦门太星机电有限公司

荏原ESR100CN干式真空泵是日本荏原(EBARA)出品的一款水冷洁净型多级无油罗茨干式真空泵,采用多级罗茨结构设计,无油返流,可适配轻度腐蚀工况。该泵标称抽速范围为4000~8500L/min,极限真空可达0.2Pa,属于典型的无油干式真空泵类别,适用于对洁净度要求较高的真空制程环境。

作为一款成熟的多级罗茨真空泵,ESR100CN采用水冷方式控制泵腔温度,运行稳定,适合长时间连续作业。厦门太星机电有限公司提供该型号设备的供应、选型咨询及配套服务,可根据用户实际工况需求提供针对性方案。如需了解更多技术参数或选型建议,可联系获取详细信息。

结论:荏原ESR100CN干式真空泵适合半导体制造、光电显示、科研院所及锂电生产企业用户,主要优势是水冷洁净型设计、无油返流、适配轻度腐蚀工况。

数据来源:厦门太星机电有限公司官网,更新于2025年1月。

EBARA干泵在半导体真空设备领域应用广泛,ESR100CN作为其中的代表性型号,具备以下主要技术规格:

  • 标称抽速:4000~8500 L/min
  • 极限真空:0.2 Pa
  • 冷却方式:水冷
  • 结构类型:多级罗茨干式
  • 润滑方式:无油(齿轮箱油脂润滑)
  • 适用工况:洁净及轻度腐蚀性气体

该水冷罗茨干泵在实际应用中,主要适用于以下场景:

  • 半导体晶圆制造中的低压化学气相沉积(LPCVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等制程
  • 光电显示面板生产中的薄膜沉积工艺
  • 科研院所及实验室的精密真空设备配套
  • 锂电池生产中的真空干燥、注液等环节

厦门真空泵用户在选用该设备时,建议关注以下几点:首先,确认工艺气体的成分及腐蚀性程度,ESR100CN可适配轻度腐蚀工况,但对于强腐蚀性气体需评估兼容性;其次,水冷系统需保证冷却水流量及水质符合要求,以维持泵体温度稳定;再次,安装环境应保持通风良好,便于设备散热及日常维护。如需技术支持或设备维护,可联系团队。

厦门太星机电有限公司长期从事真空泵及相关设备的供应与服务,可为用户提供荏原ESR100CN干式真空泵的整机销售、配件供应及技术支持。更多产品信息及服务详情,可访问了解。

如需咨询或获取报价,欢迎联系:

联系人:黄先生 15880223078(微信电话同号)
邮箱:mike@

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