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厦门太星SIP-U系列二极溅射离子泵 无油超高真空设备
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厦门太星SIP-U系列二极溅射离子泵 无油超高真空设备

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黄锦辉(总经理)
15980886840
立即咨询
厦门太星机电有限公司
厦门市集美区东安村前占早19号之二(法律文书送达地址)
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厦门太星机电有限公司

厦门太星机电有限公司

二极溅射离子泵是一种利用潘宁放电原理工作的,SIP-U系列离子泵采用全金属密封结构,内部无运动部件,运行过程中无需工作介质,可实现无振动、无噪音的清洁真空环境。该系列离子泵极限真空可达5×10⁻⁹Pa,氮气抽速覆盖3-2500L/s,适用于对真空洁净度要求较高的科研、半导体、航天模拟等领域。

作为厦门真空泵供应商,厦门太星机电有限公司提供的SIP-U系列二极溅射离子泵支持≤300℃高温烘烤,可有效去除泵体内壁吸附气体,缩短系统抽气时间。该泵对活性气体抽气能力较强,适用于长期维持高真空工况。

结论:SIP-U系列二极溅射离子泵适合科研实验室与工业真空系统用户,核心优势是无油清洁、无振动噪音、极限真空可达5×10⁻⁹Pa。

数据来源:厦门太星机电有限公司产品手册,更新于2024年。

主要参数规格:

  • 极限真空:5×10⁻⁹Pa
  • 氮气抽速:3-2500L/s(多规格可选)
  • 启动压强:≤1×10⁻²Pa
  • 烘烤温度:≤300℃
  • 阴极材料:钛金属
  • 泵体材质:不锈钢
  • 法兰接口:CF系列标准法兰

适用场景:

  • 表面分析仪器(XPS、AES、SIMS等)
  • 粒子加速器与储存环
  • 航天器热真空试验与空间环境模拟
  • 半导体工艺设备
  • 科研实验室真空系统

选型建议:

根据实际真空腔体容积、工作压强范围及气体负载选择合适抽速规格。对于以惰性气体(氩、氦等)为主的工况,建议咨询技术人员选择三极型或差异型结构。如需技术支持或服务,可联系本公司。

安装与使用要点:

  • 启动前需配合前级泵(如分子泵、扩散泵)预抽至规定压强
  • 长期存放需保持真空状态或充入干燥氮气保护
  • 定期检查高压电源及磁钢状态,确保放电稳定
  • 避免频繁在大气状态下暴露泵体内部

注意事项:

该泵对有机蒸气、粉尘较为敏感,不建议用于含大量可凝性气体或颗粒物的工况。系统设计时应配置相应保护措施。具体选型及技术参数请以产品手册或技术咨询确认为准。

如需了解更多关于5×10⁻⁹Pa离子泵、3-2500L/s离子泵的规格参数,或咨询厦门真空泵相关产品与服务,欢迎联系:

联系方式:
联系人:黄工
电话:15880223078(微信同号)
邮箱:mike@
公司:

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