高温真空蒸镀仪，是一款小型真空镀膜仪，特别适合蒸镀一些轻金属，如 Al. Mg, 和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理，Z大可处理的样品直径为50mm.。标准的旋转样品台可进行倾斜调节，非常容易适应各种样品座。可选的样品台具有特殊的凹槽，可放置标准的载玻片，这在“石棉分析”需要镀碳层时尤为有利。
碳棒头在仪器中作为标准件。这是一个“快速释放头”，使用户在选择金属蒸发附件、碳丝及光阑清洗头时可方便地更换。放气系统具有互锁装置，避免样品受到干扰。涡轮分子泵可安装在任 何轴上，并且可安 全地“关闭”直接通大气。
优点
● 容易操作
● 均匀的样品涂层
● 方便多用户操作
● 可用于蒸碳及蒸镀金属
● 在排气过程中可防止样品损坏
● 碳棒或碳丝蒸发
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜 
115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟 
115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
高温真空蒸镀仪KT-Z1650CVD
|
控制方式
|
7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
|
|
加热方式
|
数字式功率调整器
|
|
镀膜功能
|
0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
|
|
最 大功率
|
≤1200W
|
|
最 大输出电压电流
|
电压≤12V 电流≤120A
|
|
真空度
|
机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤10^-3Pa
|
|
挡板类型
|
电控
|
|
真空腔室
|
石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
|
|
样品台
|
可旋转φ62 （最 大可安装φ50基底）
|
|
样品台转速
|
8转/分钟
|
|
样品蒸发源调节距离
|
70-140mm
|
|
蒸发温度调节
|
≤1800℃
|
|
支持蒸发坩埚类型
|
钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
|
|
预留真空接口
|
KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
|
|
可选配扩展
|
机械真空泵（可抽真空 5分钟＜5Pa）
数显真空计（测量范围大气压到0.1Pa）
分子泵机组（可抽真空20分钟≤5x10-3Pa）
|
广告
