智能高精度气体配比器，主要用于气体流量测试，并按比例混合气体，为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境，控制方式采用数字控制 精度高 抗干扰能力强 根据客户要求随意修改气体。
该气体配比器可以外接两种或多种气体，采用CS200或CS100质量流量计，气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强，阀门采用高压球阀做截止阀，气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头，方便连接且不易泄漏。
1. 半导体制造行业中气体流量控制
2. 各种真空镀膜设备；
3. 特种材料表面处理
4. 气体燃烧控制
5. 混合配气系统
6. 泄漏探测系统
7. 环境检测与分析设备
8. 分析仪器的气体流量计量与控制
9. 化工、石化、冶金、光纤熔炼等需要气体检测和控制的场所。
技术参数：
|
气体通道
|
2进1出（KT-C2ZS）
|
3进1出（KT-C3ZS）
|
4进1出（KT-C4ZS）
|
|
可根据需求定制
|
|
产品类型
|
高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
|
|
可选量程
|
20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
|
|
产品精度
|
高精度型±1％F.S 普通型±1％F.S
|
|
重复精度
|
高精度型±0.2% F.S 普通型±0.2% F.S
|
|
线性
|
高精度型±0.5% F.S. 普通型±1% F.S.
|
|
响应时间
|
高精度型≤1sec 普通型≤2sec
|
|
工作温度范围
|
(5~45)°C
|
|
供电电源
|
~85-265VAC 50/60Hz
|
|
功耗
|
40W
|
|
进气口压
|
≤0.6MPa
|
|
连接管道
|
316不锈钢管道
|
|
截止阀类型
|
电磁阀
|
|
单向阀开启压力
|
0.02Mpa
|
|
压力显示量程
|
0-0.6Mpa
|
|
控制方式
|
7寸触摸屏智能调节
|
|
时间设定
|
0-32000分钟
|
|
清洗功能
|
一键清洗
|
|
程序控制
|
5段可编程序(时间-流量随意设定值)
|
|
压力显示
|
不锈铡机械压力表
|
|
气体混合罐
|
有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀）
|
|
流量累计
|
有（累计当前运行总流量）
|
|
可选进出气口接头形式
|
3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
|
|
抗电磁干扰
|
有
|
|
外形尺寸
|
约500x380x380mm
|
|
重量
|
18KG～20KG
|
广告
