等离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀等离子清洗机电源属于150W 13.56MHz的射频电源。作为一种精密干法清洗设备,主要应用于半导体、镀膜工艺、PCB制程、PCB制程、元器件封装前、COG前、真空电子、连接器和继电器等行业的精密清洗,塑料、橡胶、金属和陶瓷等表面的活化以及生命科学实验等。
该等离子清洗机KT-S2DQX,用于表面清洗,活化,刻蚀清洗机内置高纯石英仓体,容积为2升。采用了新型的外观结构设计和固态电源技术,使其有效容积增大,不同真空 气体环境下容易匹配,且控制频率稳定。真空仓门有观察窗,可直观物体的处理过程,其射频电源与控制都组装在一个机箱内,即减少了空间的占用,更便于操作和放置,同时与大型清洗机相比较,从检测功能与控制功能的设置上均可一个面板上操作,特别适用科学实验 样品清洗 和教学。
供电电源
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AC220V(AC110V可选)
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工作电流
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整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵)
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射频电源功率
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150W
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射频频率
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13.56MHz
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频率偏移量
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<0.2MHz
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特性阻抗
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50欧姆,手动匹配
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耦合方式
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电容耦合
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真空度
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≤100Pa
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腔体材质
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高纯石英
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腔体容积
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2L(内径110MMX深度220MM)
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观察窗内径
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Φ65
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气体流量
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10—100ml/min(其他量程可选)
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过程控制
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过程手动控制
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清洗时间
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手动开关
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开盖方式
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铰链侧开式法兰
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外形尺寸
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400x380x360mm
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重量
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23Kg
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真空室温度
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小于65°C
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冷却方式
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强制风冷
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标配
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KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本。
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