桌面式高温蒸镀仪
小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法,以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流,进入基材或基材表面,然后凝结成固体膜。
小型蒸镀仪包括以下基本过程:
(1)加热蒸发过程:包括从冷凝相变为气相的过程,并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
(2)气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输,即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
(3)蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即,蒸发,冷凝,成核,成核生长,形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度,因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。
特点
● 全自动抽气系统
● 旋转样品台
● 菜单驱动式“用户”键盘输入
● 快速释放头方便选择不同的头
● 约束的排气控制
以下是不同真空度 不同镀膜时间镀铜样品图
原样品没有镀膜
115A 100秒 机械泵
115A 100秒 分子泵抽12分钟
115A 120秒 分子泵抽20分钟
真空度越高 越不易氧化 越接近金属本色
桌面式高温蒸镀仪KT-Z1650CVD
控制方式
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7寸人机界面 手动 自动模式切换控制
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加热方式
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数字式功率调整器
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镀膜功能
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0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序
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最 大功率
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≤1200W
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最 大输出电压电流
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电压≤12V 电流≤120A
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真空度
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机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa
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挡板类型
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电控
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真空腔室
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石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm
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样品台
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可旋转φ62 (最 大可安装φ50基底)
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样品台转速
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8转/分钟
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样品蒸发源调节距离
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70-140mm
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蒸发温度调节
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≤1800℃
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支持蒸发坩埚类型
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钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳
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预留真空接口
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KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口
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可选配扩展
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机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa)
数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa)
分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa)
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