小型真空高低温探针台，高低温真空探针台，高温400℃低温-196℃，10微米探针尖，移动滑块精度≤0.01mm
高低温真空探针台，能够为测试样品提供高真空和极 . 端高温/低温的测试环境，非常适合各种半导体材料、芯片和电子元器件的无损测试，应用方向有：真空&极 . 端温度条件下的芯片/MEMS/NEMS测试；宽温区材料或器件的IV/CV特性测试；LD/LED/PD测试；光谱特性测试；霍尔效应测量；可变磁场环境中电磁输运特性测试；微波射频测试；瞬态光电流响应测试；拉曼-瞬态荧光寿命成像；电-光效应测试；超导测试试验等。
产品特点
◆高真空度，真空度优于1×10-3 Pa
◆高精度温控系统，自动冷媒流量控制，-196℃到400℃温度区间内精，确控制样品台温度
◆防辐射屏设计，保证样品温度均匀
◆兼容高倍率金相显微镜
◆采用液氮或氦气压缩机制冷
小型真空高低温探针台参数
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真空腔体
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类型
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加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃
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腔体材质
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304不锈钢
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腔体内尺寸
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φ90x40mm
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腔体上视窗尺寸
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Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）
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腔体抽气口
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KF16
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腔体进气口
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公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
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腔体出气口
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公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选
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腔体正压
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≤0.05MPa
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腔体真空度
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机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟）
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样品台
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样品台材质
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304不锈钢
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样品台尺寸
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26X26mm
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样品台-视窗 距离
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30mm（可选凹视窗间距15mm）
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样品台测温传感器
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A 级PT100铂电阻
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样品台温度
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室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）
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样品台测温误差
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±0.2℃
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样品台变温速率
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高温10℃/min 低温5℃/min 最，大值
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温控仪
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温度显示
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7寸人机界面
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温控类型
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标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）
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温度分辨率
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0.1℃
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温控精度
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±0.5℃
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温度信号输入类型
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PT100热电阻 （可选 K S B型热电偶）
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温控输出
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直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）
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辅助功能
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温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线
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探针
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电信号接头
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配线转接 BNC接头 BNC三同轴接头 SMA 接头 香蕉插头 线长1.2米
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电学性能
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绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤10pA
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探针数量
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4探针（可定做6探针）
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探针材质
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镀金钨针
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探针尖
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10μm
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探针移动平台
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X轴移动行程
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12mm ±6mm
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X轴控制精度
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≤5μm
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Y轴移动行程
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12mm ±6mm
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Y轴控制精度
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≤5μm
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Z轴移动行程
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12mm ±6mm
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Z轴控制精度
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≤5μm
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数码显微镜
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显微镜类别
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物镜放大+电子放大
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显微镜放大倍数
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100倍
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显微镜工作间距
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50-150mm
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相机分辨率
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1080P 60帧
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相机信号输出
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HDMI输出+USB输出
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LED可调光源
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LED光源
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显示屏
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5寸 屏幕一体机
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