多功能磁控溅射电阻镀膜机

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多功能磁控溅射电阻镀膜机多功能磁控溅射电阻镀膜机图片多功能磁控溅射电阻镀膜机生产厂家

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主要用途
是生产各种金属膜电阻及氧化膜电阻的专用设备，可以完成高、中、低不同阻值的镀膜工艺。

主要组成
设备由真空室、真空机组、直流溅射源、射频溅射源、分流式滚筒、充气装置、真空测量及其它辅助装置等组成。

主要特点
★生产能力大，每炉可镀制装载量达10～11Kg左右的瓷体。
★磁控溅射源工作特性稳定可靠，沉积速率高。
★根据不同电阻值和工艺要求配置不同溅射源，工艺适应性强。如配置射频溅射源可镀制介质膜，配备离化源可镀制氧化膜。
★采用特殊分流式滚筒，瓷体镀制膜层均匀，阻值集中。
★如配用PLC可编程控制，设备自动化水平提高，性能更加可靠，操作更为简便。
★调节沉积室的气氛可控沉积膜的阻值和TCR（温度系数）；镀制后电阻在合适的“后调整”热处理后TCR可接近于零。

获奖情况
JPG-6型曾获辽宁省机械委员会科技进步一等奖，辽宁省{yx}新产品“金鹰奖”三等奖。
JPG-5型曾获省机械委科技进步二等奖。

JGG5磁控溅射高阻镀膜机
JPG6B磁控溅射中、低阻镀膜机

JPG-6B型磁控溅射电阻镀膜设备
（全自动）

JPZ6磁控溅射电阻镀膜机（全自动）

JPG-6B磁控溅射电阻镀膜机
（附加射频电源）

JPG-6B型磁控溅射电阻镀膜设备

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多功能磁控溅射电阻镀膜机

锦州航星真空镀膜设备有限公司

主要用途是生产各种金属膜电阻及氧化膜电阻的专用设备，可以完成高、中、低不同阻值的镀膜工艺。

主要组成设备由真空室、真空机组、直流溅射源、射频溅射源、分流式滚筒、充气装置、真空测量及其它辅助装置等组成。

获奖情况JPG-6型曾获辽宁省机械委员会科技进步一等奖，辽宁省{yx}新产品“金鹰奖”三等奖。JPG-5型曾获省机械委科技进步二等奖。

主要用途
是生产各种金属膜电阻及氧化膜电阻的专用设备，可以完成高、中、低不同阻值的镀膜工艺。

主要组成
设备由真空室、真空机组、直流溅射源、射频溅射源、分流式滚筒、充气装置、真空测量及其它辅助装置等组成。

获奖情况
JPG-6型曾获辽宁省机械委员会科技进步一等奖，辽宁省{yx}新产品“金鹰奖”三等奖。
JPG-5型曾获省机械委科技进步二等奖。