PTFE过滤罐是光伏、半导体湿法制程及精密化工实验室专用封闭式循环过滤净化设备,主要替代PP、PVDF、不锈钢过滤罐体。有效解决传统罐体不耐氢氟酸、酸碱工况易溶胀粉化、金属罐体释杂污染药液、密封结构易渗漏、无法在线循环净化的行业痛点。凭借PTFE超强耐腐蚀、超低本底洁净、密封稳定性强的优势,可与各类PTFE槽体、工装配套使用,主打封闭式承压过滤、药液循环再生、在线除杂净化,是工业化连续湿法制程的核心配套净化耗材。
用于强腐蚀工艺药液闭环循环过滤净化。半导体蚀刻液、BOE缓冲液、光伏硅片制绒酸碱液、冶金混酸腐蚀药液在批量生产中可循环复用,药液长期作业会积累硅粉、胶体残渣、金属氧化物等微量杂质。开放式过滤易引入外界粉尘污染,普通过滤罐不耐氟系药液腐蚀,长期运行会掉屑、渗漏,导致药液纯度持续下降。PTFE过滤罐全程密闭承压运行,耐腐蚀不溶出,可持续拦截药液内微细杂质,大幅延长药液使用寿命,稳定药液配比精度,降低产线换液成本。
适配产线在线供液与精密工件防护过滤。晶片制绒、晶圆蚀刻、酸洗漂洗工序对药液洁净度要求极高,细微颗粒极易造成晶片表面划伤、绒面不均、电路微缺陷。该过滤罐封闭式结构无过滤死角,进出液流量稳定,可匹配产线泵体联动实现在线不间断过滤,实时剔除药液杂质,保证每批次工件接触的药液纯度一致。罐体内部光滑不积垢、不吸附药液成分,不会改变药液酸碱浓度与化学配比,保障制程工艺高度统一。