PTFE方槽是半导体、光伏产业及精密科研实验室通用型湿法核心工装,专为规整化批量作业设计,替代传统圆形槽、PP、PVDF普通方槽。有效解决常规塑胶方槽耐腐性差、氢氟酸环境易粉化、高温易变形、析出杂质污染工件的痛点,方正结构可完美适配硅片架、滤篮、晶圆架等配套工装对位放置,空间利用率远超圆形槽体,广泛用于晶片酸洗、药液储存、工件漂洗、实验消解前处理等高洁净工况,是湿法产线标准化作业的必备耗材。
适配大批量晶片规整浸泡与酸碱腐蚀作业。光伏硅片、半导体图形化晶圆、光学薄片的制绒、去氧化、除金属杂质工序,需要规整的槽体空间放置整架工装。PTFE方槽内壁平直、容量规整,可实现多组硅片架并排摆放,药液全覆盖浸泡晶片,规避圆形槽边角药液流通不均、工件摆放受限的问题。材质不与各类腐蚀药液反应,长期浸泡不溶胀、不开裂,无碎屑脱落,彻底杜绝晶片二次污染,保障腐蚀、清洗工艺均匀稳定。
可作为无尘车间专用储液槽与超声清洗槽使用。制程所用氢氟酸、缓冲蚀刻液、酸碱混合清洗液,需专用洁净槽体储存,普通槽体易析出杂质污染药液,影响制程精度。PTFE方槽超低金属本底,不吸附药液杂质、不释放有害物质,可长期储存各类腐蚀试剂。一体无缝焊接结构抗超声疲劳,可适配高频超声波清洗工况,长期震荡不渗漏、不变形,高效去除晶片表面纳米粉尘、药液结晶残留。