PTFE四氟晶圆盒低本底无吸附无溶出可定制

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南京滨正红仪器有限公司

南京滨正红仪器有限公司（前称“滨海县正红塑料仪器厂”）是专门生产、研发、销售高科技痕量分析实验器皿的厂。我司专注“痕量元素分析”特氟龙耗材三十年，产品质量可与国外品牌相媲美。我们不断提升产品的质量，秉承“客户、服务、技术”为根本的理念，并得到众多客户的首肯。我们诚挚感谢阁下的支持及协助，并为我们的合作深感荣幸。我们将一如既往地服务于客户，达到共赢。
主营产品：
生物医药化工类特氟龙耗材：PTFE/FEP/PFA容量瓶、样品瓶、洗瓶、量筒、烧瓶
前处理仪器&耗材：微波消解仪、全自动石墨消解仪、赶酸仪、高温加热板、各型号微波消解罐、高压消解罐、四氟消解管、四氟定制品
同位素分析仪器&耗材：酸纯化器、防腐加热板、器皿清洗器、PFA溶样罐、微柱、进样杯、地质溶样弹
半导体新材料新能源耗材：PTFE/PFA花篮、清洗槽、镊子、洗气瓶等

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PTFE晶圆盒是半导体、光伏硅片、光学晶片湿法工艺专用承载器具，替代PP、PVDF、POM常规塑胶晶圆盒，解决普通塑胶盒耐蚀刻液差、高温易形变、析出微颗粒、钠离子金属污染晶圆的行业痛点。依托四氟材质极致耐腐蚀、超低本底、低释气、防静电、耐高低温的特性，广泛用于半导体晶圆蚀刻、清洗、去胶、抛光、酸洗，光伏单晶硅片、蓝宝石光学晶片全制程湿法处理，是无尘车间必备的晶圆周转收纳耗材。

在半导体湿法清洗工序中为核心承载工具。晶圆生产需经过SC1、SC2标准酸碱清洗、氢氟酸去氧化层、等离子体后水洗多道工序，药液腐蚀性极强。常规塑胶晶圆盒长期浸泡会溶胀开裂，析出有机微粒附着晶圆表面，造成电路短路、良率下降。PTFE晶圆盒不与任何半导体清洗药液反应，长期浸泡不形变、不溶出微粒，镜面内壁不会刮伤晶圆光刻胶与硅基材，杜绝晶圆表面划痕、白点不良缺陷。

适配高温烘烤与无尘周转存储工况。晶圆清洗后需120-170℃热风烘干除水，普通塑胶盒受热易软化变形、释放挥发性杂质，污染洁净车间气流。PTFE材质热稳定性优异，高温烘烤无变形、无释气，满足Class100无尘车间洁净标准。同时材质表面阻抗稳定，具备防静电属性，避免静电吸附粉尘、硅粉，防止超薄晶圆静电碎裂，适配无尘车间跨设备转运、临时静置存放。

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