高精度流量计气体配比器
CS系列产品采用了先的技术,申报并获得66项国家z利,其中PCT2项,发明z利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷，可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗、航空电力等行业。
高精度流量计气体配比器
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产品型号
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KT-PCS4Z
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KT-C4ZS
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气体通道
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4进1出
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4进1出
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可根据需求定制
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产品类型
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高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
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可选量程
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20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
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产品精度
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高精度型±1％F.S
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普通型±1％F.S
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重复精度
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高精度型±0.2% F.S
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普通型±0.2% F.S
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线性
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高精度型±0.5% F.S.
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普通型±1% F.S.
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响应时间
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高精度型≤2sec
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普通型≤4sec
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工作温度范围
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(5~45)°C
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供电电源
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~85-265VAC 50/60Hz
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功耗
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40W
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进气口压
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≤0.6MPa
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连接管道
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316不锈钢管道
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截止阀类型
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电磁阀
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单向阀开启压力
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0.02Mpa
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压力显示量程
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0-0.6Mpa
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控制方式
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7寸触摸屏智能调节
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时间设定
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0-32000分钟
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清洗功能
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一键清洗
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程序控制
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5段可编程序(时间-流量随意设定值)
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压力显示
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有（出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路）
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气体混合罐
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有（内置不锈钢扰流板气体混合均匀）
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气体加热
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无（可选配气体混合罐加热，加热温度室温至350℃可调）
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流量累计
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有（累计当前运行总流量）
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可选进出气口接头形式
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3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
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抗电磁干扰
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有
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外形尺寸
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550x380x400mm
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重量
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18KG～20KG
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