郑科探KT-PE150S 实验薄膜仪 PECVD模块等离子体增强化学气相沉积

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郑州科探仪器设备有限公司是集开发、制造、经营为一体的材料创新型企业，如今公司的产品已经遍布国内大多数实验室及*校，科探仪器已经成为老师同学欢迎和信任的品牌之一公司以科技创新为主，服务社会为宗旨，积极设计开发新型材料制备设备，奉献于教育和科学，经过长期的研发和不断地技术积累，拥有热工，制造，控制相关技术10余项，为化学，物理，材料，电子，高分子工程，新材料制备和研发领域的科学研究提供了精良设备。公司通过和院校老师同学强强联合，形成了有效的信息，技术交流平台，为科探仪器了解市场需求提供了强有力的支持！。目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉、CVD供气系统、等离子清洗机、小型离子溅射仪、小型蒸镀仪等，主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。

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PECVD是借助于辉光放电等方法产生等离子体，辉光放电等离子体中：电子密度高109-1012cm3电子气体温度比普通气体分子温度高出10-100倍，使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。通过反应气态放电，有效地利用了非平衡等离子体的反应特征，从根本上改变了反应体系的能量供给方式低温热等离子体化学气相沉积法具有气相法的所有优点，工艺流程简单，与传统CVD系统比较，生长温度更低，管辉光均匀等效，薄膜均匀沉积。

KT-PE150S 性能参数

型号	KT-PE150S	KT-PE500Z
信号频率	13.56MHz±0.005%
功率输出范围	0-150W	0-500W
功率稳定度	≤5W
反射功率	40W
射频输出接口	7/16,female 50 Ω
功率稳定度	≤5W
匹配方式	手动调节匹配	500W自动匹配
耦合方式	电感式耦合
辉光压力	≤30Pa
供电电压	50/60Hz 220v±10%
整机效率	≥70%
冷却方式	强制风冷
支持炉管直径	φ25-φ80	φ25-φ150
感应区	210mm
整机重量	48KG
整机尺寸:H x W x D(mm)	600 x 600x 1100

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