等离子清洗机有几种称谓，英文叫（Plasma Cleaner）又称等离子体清洗机,等离子清洗器,等离子清洗仪,等离子刻蚀机，等离子表面处理机,电浆清洗机，plasma清洗机，等离子去胶机，等离子清洗设备。等离子清洗机/等离子处理机/等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、等离子刻蚀、等离子去胶、等离子涂覆、等离子灰化、等离子处理和等离子表面处理等场合。等离子清洗机能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、涂镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂 光刻胶：简单的理解就是用氧气把光刻胶燃烧掉，光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。
我们等离子清洗机的优势：1:真空度：用皮拉尼原理测量到Pa，市面上别人用压力规测试，他们是千帕，不是一个量级的。 2：我们是用的进口的气体流量传感器原理，我们是质量流量计检测气体，度是通入流量的±1.5%，友商/市面上用的是浮子流量计，是满量程的4%，而且那个浮子球是上下浮动，手碰一下乱跑，说是4%，肯定达不了那么高。3：我们是石英腔体，洁净度高，市面大部分是不锈钢腔体。4：功率是150W，国内都是统一的，别人说的是200-300瓦，那很多都是虚的。和友商同等规格 同等大小 对比 我们有以下优势一 2路流量计 质量流量计采集更精准 友商 浮子流量计 只能看浮球飘忽不定
二 流量控制 2个精密针阀调节 线性调节度较好 友商 普通浮子流量计 流量只能控制大概
三 真空采集 皮拉尼原理 真空计 测量大气压到0.1Pa的真空 友商 压力传感器 测量极限-99KPa 具体多少真空谁知道
四 通过精准的流量检测及真空采集 使自动控制一气呵成 通过检测固定的真空值让射频辉光 即使是手动匹配射频电源 也只需要匹配一次 下次相同工艺 基本不需要再次调节匹配 友商 真空度都测不准谈啥控制。 @科探仪器设备
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