真空探针台KT-Z160TZ主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动从功能上来区分有：温控探针台，真空探 针台(低温探针台)，RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台。普遍应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成
高低温真空 探针台应用：
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
· 结构紧凑，适用于各种变温测试
· -196℃~400℃（配液氮致冷模块）
· 气密腔室设计，可通保护气氛
· 4探针，手动定位（可扩展为6个）
· 支持改动或定制
真空探针台KT-Z160TZ参数
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真空腔体
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腔体材质
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304不锈钢
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上盖开启
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铰链侧开
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加热台材质
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304不锈钢
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内腔体尺寸
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φ160x90mm
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观察窗尺寸
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Φ70mm
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加热台尺寸
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φ60mm
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观察窗热台间距
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75mm
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加热台温度
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﹣196~400℃
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加热台温控误差
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±1℃
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真空度
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机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
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允许正压
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≤0.1MPa
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真空抽气口
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KF25真空法兰
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气体进气口
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3mm-6mm卡套接头
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电信号接头
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SMA转BNC X 4
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电学性能
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绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
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探针数量
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4探针
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探针材质
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钨针
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探针尖
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10μm
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探针移动平台
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X轴移动行程
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30mm ±15mm
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X轴控制精度
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≤0.01mm
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Y轴移动行程
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13mm ±12.5mm
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Y轴控制精度
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≤0.01mm
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Z轴移动行程
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13mm ±12.5mm
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Z轴控制精度
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≤0.01mm
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电子显微镜
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显微镜类别
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物镜
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物镜倍数
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0.7-4.5倍
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工作间距
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90mm
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相机
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sony 高清
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像素
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1920※1080像素
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图像接口
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VGA
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LED可调光源
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有
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显示屏
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8寸
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放大倍数
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19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，最小可分辨0.08mm
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