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精密复杂模具的变形原因往往是复杂的，但是我们只要掌握其变形规律，分析其产生的原因，采用不同的方法进行预防模具的变形是能够减少的，也是能够控制的。一般来说，对精密复杂模具的热处理变形可采取以下方法预防。
热处理变形是热处理过程中的主要缺陷之一，对于一些精密零件和工具、模具，常常会因为热处理变形超差而报废，为此，常州热处理厂总结了预防热处理变形的几种方法。
(1)合理选材。应选择材质好的微变形模具钢(如空淬钢)，对碳化物偏析严重的模具钢应进行合理锻造并进行调质热处理，对较大和无法锻造模具钢可进行固溶双细化热处理。
(2)模具结构设计要合理，厚薄不要太悬殊，形状要对称，对于变形较大模具要掌握变形规律，预留加工余量。
(3)进行预先热处理，消除机械加工过程中产生的残余应力。
(4)合理选择加热温度，控制加热速度，采取缓慢加热、预热和其他均衡加热的方法来减少模具热处理变形。
(5)在保证硬度的前提下，尽量采用预冷、分级冷却淬火或温淬火工艺。
(6)在条件许可的情况下，尽量采用真空加热淬火和淬火后的深冷处理。