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罗茨旋片真空机组适用于抽吸空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体,广泛应用于需要大抽速和需要获得低、高真空的各种真空系统中,例如:大型空间模拟试验中的动态真空的获得,电力电容器,变压器真空浸渍处理,真空镀膜设备中的预抽,镁还原过程中的抽气,单晶硅提炼过程中的除气等等。
罗茨旋片机组是由ZJ型罗茨泵作为主抽泵,单级或双级旋片泵作为前级泵组成的抽气机组。该机组具有真空度高,抽速范围广等特点。
技术参数
|
项目 型号 |
极限真空 |
抽气速率 |
机组组成型号、功率 |
总功率 |
进气口径 |
排气口径 | |||||
|
≤Pa |
L/S |
主泵 |
功率 |
中间泵 |
功率 |
前级泵 |
功率 | ||||
|
JZJX30-8 |
5*10-2 |
30 |
ZJ30 |
O.75 |
|
|
2X-4 |
0.55 |
1.3 |
50 |
19 |
|
JZJX70-8 |
5*10-2 |
70 |
ZJ70 |
1.5 |
|
|
2X-8 |
1.1 |
2.6 |
80 |
19 |
|
JZJX70-8 |
5*10-2 |
70 |
ZJ70 |
1.5 |
|
|
2X-8 |
1.1 |
2.6 |
80 |
G2” |
|
JZJX150-8 |
5*10-2 |
150 |
ZJ150A |
3 |
|
|
2X-15 |
2.2 |
5.2 |
100 |
G2” |
|
JZJX150-4 |
5*10-2 |
150 |
ZJ150A |
3 |
|
|
2X-30A |
3 |
6 |
100 |
G2 1/2” |
|
JZJX300-8 |
5*10-2 |
300 |
ZJ300 |
4 |
|
|
2X-30A |
3 |
7 |
150 |
G2 1/2” |
|
JZJX300-4 |
5*10-2 |
300 |
ZJ300 |
4 |
|
|
2X-70A |
5.5 |
9.5 |
150 |
G4” |
|
JZJX600-8 |
5*10-2 |
600 |
ZJ600 |
5.5 |
|
|
2X-70A |
5.5 |
11 |
150 |
G4” |
|
JZJX1200-8 |
5*10-2 |
1200 |
ZJ1200 |
11 |
|
|
2X-70*2 |
5.5*2 |
22 |
300 |
G4” |