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产品尺寸范围 |
3-7寸 |
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最小缺陷尺寸 |
0.08mm |
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搬送精度 |
X±0.02mm Y±0.02mm |
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适用产品 |
LCM+CG 、Cell、Open Cell |
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节拍 |
3.5S |
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电压/功率 |
AC220V / 50HZ /10KVA |
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漏检率 |
≤1% |
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过检率 |
≤5% |
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空气源压力 |
0.5-0.7kgf/cm |
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洁净度 |
0.5um |