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洁净车间是否达标有哪些测试标准?
为证明洁净车间工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求: 1.洁净车间的送风量充足,足以稀释或消除室内产生的污染。 2.洁净车间的送风不会显著增加室内的污染。 3.洁净车间内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到{zd1}程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。 4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。 如果洁净车间达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净车间标准。


洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、xj等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非{bfb}没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
