用臭氧氧化法处理废水所使用的是含低浓度臭氧的空气或氧气。臭氧是一种不稳定、易分解的强氧化剂，因此要现场制造。臭氧氧化法水处理的工艺设施主要由臭氧发生器和气水接触设备组成。目前大规模生产臭氧的{wy}方法是无声放电法。制造臭氧的原料气是空气或氧气。原料气必须经过除油、cs、除尘等净化处理，否则会影响臭氧产率和设备的正常使用。用空气制成臭氧的浓度一般为10～20毫克/升；用氧气制成臭氧的浓度为20～40毫克/升。这种含有1～4%(重量比)臭氧的空气或氧气就是水处理时所使用的臭氧化气。臭氧发生器所产生的臭氧，通过气水接触设备扩散于待处理水中，通常是采用微孔扩散器、鼓泡塔或喷射器、涡轮混合器等。臭氧的利用率要力求达到90%以上，剩余臭氧随尾气外排，为避免污染空气，尾气可用活性炭或霍加拉特剂催化分解，也可用催化燃烧法使臭氧分解。
臭氧具有很强的氧化力，目前是已知最强的氧化剂之一。 臭氧在污水处理中的用途是最广泛的，其原理都是利用的臭氧的强氧化性。臭氧分解后，分解为氧气。臭氧一般用在污水的深度处理阶段，在排放之前的清水池或氧化池投加。其投加浓度取决于污水中的物质组成和要求达到的效果，一般由小试决定。无小试的通用投加浓度在10-15mg/L(氧气源)，由于各臭氧厂家臭氧浓度不同，投加浓度也有差别，如果是空气源的投加浓度要扩大5-10倍，臭氧浓度越高氧化性越强，效果也越好
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