伯东MOCVD设备检漏方法

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伯东企业（上海）有限公司

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界{yl}的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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http://. MOCVD 设备检漏
上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业，近日成功采购6台http://. ASM 340 用于 MOCVD 设备检漏。
MOCVD 是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。因为 MOCVD 生长使用的源是易燃、易爆、毒性很强的物质，因此在设备出厂时必须要考虑密封性，否则一旦有毒物质泄漏，后果不堪设想！

上海伯东客户厦门某大型 LED 生产企业应用实例：
MOCVD 需要检漏位置：所有怀疑有漏的地方都需要进行检漏，主要检漏源供给、输运和尾气处理系统（例如管路接头、管道、焊缝等位置）。
根据客户实际需要，MOCVD 检漏基本配置：http://. +http://. 如下图所示：
伯东pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340

MOCVD 检漏方法：采用真空模式检漏
1. 将设备通过波纹软管连接http://.，确认连接完毕
2. 启动 ASM 340，进入待机界面；初次启动时间大约 3min，以后启动 < 1min
3. 按下开始键，先通过 bypass 阀门启动http://. 抽真空，到达一定压力http://. 开始工作，同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气；若有漏，http://.马上报警，显示该喷射点有漏。
4. 检测完毕，按下http://.待机键，放气、关闭电源，移除连接管路。

Pfeiffer 德国普发氦质谱检漏仪 ：上海伯东真空产品事业部是德国 http://. 指定销售维修中心，我司是国内最早代理 http://. 产品的公司，{bfb} 原装进口并提供 Pfeiffer 全系列真空产品的售后维修服务。http://www.hakuto-/product-detail.php?id=290

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