厦门涡轮分子泵的维修保养找厦门志德-十年专业维修分子真空泵
分子泵的保养与维修
分子泵在光盘行业的电镀机上得到广泛的应用，特别是在BPS、Unaxis的电镀机系统中。众所周知，分子泵的价值不菲。维修的费用相当的高，所以分子泵的保养显得十分重要。下面志德公司提供一些关于分子泵的保养维修的基本资料，希望对大家有所帮助。一、分子系的内部结构 1．高真空接口 2．前级真空接口 3．冷却水连接 4．排气接口 5．电气连接 6．橡胶底座10．转子 10 a．转子中心毂 14．安装螺帽 16．USIT接头 58．螺丝 59螺帽 60．球型轴承 61．半径方向防震垫圈63．轴向防震垫圈 64．电视单元65．0-圈72．0-圈 73．0- 圈80．锁紧著81．0-圈82．润滑油包83．0-圈84．油包安装环 二、分子泵的清洗： 一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下： 1．关掉分子泵，进行排气。 2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包 5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。 6．往容器中用人无水酒精，高度以前级真空接口略低为宜。 7．上下活动分子泵几次，便于分子泵的定子和转子的叶片清洗，在无水酒精中浸泡大概5～10分钟。 8．换掉无水酒精，加入新的无水酒精，重复前面的工作，最少要重复一次。 9．拿出分子泵。 10．将高真空接口朝上，从垂直慢慢放倒到180度，以便排除磁性轴承中的酒精。 11．用一个网格放在高真空接口上，然后朝下放置，利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。 12．接上前级真空泵，不要开分子泵，利用前级泵抽真空，达到大概10E－1左右，以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。 13．更换真空泵中的真空油，接上分子泵开始工作。注意{dy}次抽真空时是比较慢，这是因为分子泵中有残留的酒精，属于正常情况，不必忧虑。三、驱动马达的检查 驱动马达的检查可以用两种方法，一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。 带驱动单元TCP的方法操作，这里要注意一点，就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的，所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。在不带驱动单元的检测方法，这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。 四、更换轴承 在分子泵中最容易损坏的就是轴承了，所以更换轴承是一个主要的工作。欢迎来电咨询：0592-6515234/13906026158
