激光调阻机

激光调阻机解决方案

产品特点：调阻精度高

先进的激光器提供了TEM₀₀高光束质量和极细线宽的激光束

四线制高速测量系统，测量时间仅为25us

拥有软件预调误差补偿功能

调阻速度快

先进的激光器拥有极高的重复频率，在保证光斑重叠率的情况下能拥有很高速度

德国进口扫描振镜，扫描速度极快

高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快

可靠性高

整机配置核心器件均采用原装进口配置

采用花岗岩台座，稳定可靠

功能强大

拥有温度实时补偿功能

同时具有激光划片和打标功能

运行及维护成本低廉

采用半导体端面泵浦或光纤激光器

使用寿命长，性能稳定

电光转换效率高，节约用电成本

采用风冷系统，无须外置冷却设备

操作简单，无须高额培训成本

激光调阻机技术参数：

激光器系统

激光类型：半导体端面泵浦激光器/ 光纤激光器

激光波长：1064/532/355nm

激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)

激光频率：200Hz-50KHz

典型光斑尺寸：30µm

 实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光最小光斑达12µm

泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时

冷却方式：风冷

对焦方式：计算机程序控制

激光束定位系统

激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）

点到点运动时间：5ms（典型）

{zd0}速度：7000mm/s

重复定位精度：2.5µm

激光束最小步进：0.76µm

图像监视系统

监视方式：激光同轴监视

{zd0}放大倍数：>100倍

图像监视显示屏：19寸液晶

测量系统

激励方式：电流/电压激励

恒流源：0.01µA~100mA计算机程控选择

恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）

电阻测量方式：四线制加电流测电压

直流电压测量：10mV~10V（满程电压）

调节对象发热控制：程序可设定

电阻测量精度：低阻：<0.05%+1%/R  （R<100Ω）    

     中阻：<0.05%

      高阻：<0.05%+0.02%R（R>0.1MΩ）

电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ

电阻测量速度：25µs

直流电压分辨率：0.16µV（在10mV满量程条件下）

探针板：44针11组四线制（可选其它规格）

探针板运动：计算机程序控制

计算机及软件系统

工业控制计算机（双核），17寸液晶

操作系统：Windows XP

VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大

分步重复运动系统

运动XY范围：290x260mm

运动分辨率：1µm

定位精度：小于6µm（带误差补偿）

重复定位精度：小于3µm  

{zd0}运动速度：900mm/s

具有温度补偿等功能

非接触温度测量

温度测量精度：0.2℃

调阻温度修正：计算机程序控制

其它技术指标

供电电压：220V AC

整机功耗：小于1000W

激光调阻机应用和市场：

主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于

厚膜混合集成电路

电子元器件

汽车电器

传感器

军工科研

片式电阻等行业

 样品图片：

  厚膜混合集成电路                汽车电器                    传感器