敞开式光栅尺与读数头和光栅尺或钢带间没有机械接触。是专门为机械和那些特别需要高精度测量值的装置设计的;
典型应用包括:
半导体行业的测量和生产设备
印刷电路版装配机械
超精密机械
高精度机床
计量机和比较仪、测量显微镜和其它精密测量装置
直接驱动
准确度等级 ?0.5 μm 和更高 ;测量步距 0.001 μm (1nm) ;测量长度 30 m
海德汉敞开式光栅尺常用型号:
LIP372 LIP382 LIP471 LIP481 LIP571 LIP581 LIF471 LIF481 LIDA171
LIDA181 LIDA 475 LIDA485 LIDA477 LIDA487 PP271 PP281
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