台式热蒸发仪 配备有电压 电流反馈,样品台旋转及电动挡板

技术规格：

- 基底旋转：8转/分钟；
- 热蒸发源：电阻式热蒸发舟，交流电源；
- 腔体：不锈钢或石英腔体可供客户选择；
- 泵：前级干泵，分子泵；
- Load Lock样品传输腔室：手动或自动传输，高真空，支持多种样品衬底(选配)；
- 工艺控制：PC/PLC机制的自动控制、数据处理、工艺记忆储存；
- 原位监控：石英晶振监测(QCM)，光学监测，残余气体分析，其他原位监测技术或控制；
- 衬底固定：单衬底固定，客户化衬底固定方式；

-        衬底夹具：加热，冷却，偏置，旋转等；

-        保护样品：配有样品挡板，可手动或自动开/关挡板，达到及时遮挡样品效果；

技术支持&服务：

1. 技术支持：在合同签订之前，我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下，为客户做出**的选型和方案设计，使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、注意事项等，以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训：在产品使用前，我们会派专业工程师为您提供技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保：我们对产品提供12个月的质保期，在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。（耗材和易损件除外）

4. 终身维护：我们对提供的产品提供终身服务，对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费。