等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。
*改变某些材料表面的性能。
*使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
*金属材料表面的氧化层。
*对被清洗物进行、
优点:
具有性能稳定,,操作简便,使用成本低,易于维护的特点。对各种几何形状,表面粗糙程度各异的金属,陶瓷,玻璃,硅片,塑料等物件表面进行超清洗和改性,彻底地样品表面的有机染物。
定时处理、快速处理、清洗效率高。
绿色环保,不使用化学溶剂,对产品和环境无二次污染
在常温条件下进行超清洗,对样品非破坏性处理。