采用适当的催化剂，使有害气体中的可燃物质在较低的温度下分解、氧化的燃烧方法。 这是利用VOCs的易燃性设计的一种方法，即对工业排放的VOCs在催化剂的条件下进行燃烧，得到CO2和H20以达到环保要求。
催化燃烧与直接燃烧净化法一样，均属于热力破坏法，其机理都是氧化和热裂解、热分解废气中的有机成分，分解为二氧化碳和水。但对处理高浓度的有机废气，通常认为催化分解是较为理想的方法。其原因是催化燃烧的温度要比热焚烧的温度低得多，而且效率高、能耗低、压降小、所需设备体积小，避免产生氮氧化物。
催化燃烧是使用不同种类的催化剂，利用其可以降低反应活化能的原理，使VOCs在温度比较低的情况下，将其wq氧化为CO2和H2O,一般当温度控制在300℃~450℃的范围内，大部分碳氢化合物可在被其氧化，并且去除率高达98%以上。
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