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高真空电极
法兰材质:SUS304 温度范围:-270℃~450℃ 压力范围:105Pa~1.3x10-7Pa
漏 率: ≤1x10-10Pa.m3/s
电压范围:1 ~ 20KV
电流范围:5 ~ 200A
大电流,高电压超高真空传输件 应用于电物理研究、真空镀膜、电子束蒸发、磁控溅射等工艺系统;
多种法兰、电压、电流方案规格供选择,更多需求联系技术销售工程师
支持客户来图定制;