▲用催化和化学吸附工艺联用,进行氮气纯化,也可用于氩
气纯化。
▲用专利催化扌剂,纯化深度高,抗原料气波动能力强
(200%)。非消耗型填料,使用寿命长。
▲进口洁净管道、肀阀门,高普超纯气技术,.高普超纯气技术|||氮气纯化设备
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抛光应器,面保证产品质量。
▲集约化箱包装,自动运行。
应用领域:
▲高纯单晶硅、晶片外延、大规模集成电路、光电生产等电子
行业气终端纯化。
▲气行业超纯气生产、分析零点气制备。
▲钢铁、石化行业氮气纯化。
型号
Type原料气
Inlet产品气 Outlet(ppm) 纯度 O2H2OCO2H2COCH4UDC-3≥99.999%≥99.99999%≤0.01≤0.01≤0.01≤0.01≤0.01≤0.01UDC-2≥99.98%≥99.9999%≤0.1≤0.1≤0.1≤0.1≤0.1≤0.1UDC-1≥98%≥99.999%≤1≤1≤1—— —— ——
工作压力:0.6~16Mpa 处理量:10~8000Nm3/h 颗粒度:≤0.01μm
典型客:马钢(合肥)钢铁有限责任公司 ( 年产120万吨冷轧薄板生产线项目)
气氛站配置:6600m3/h 变压吸附制氮机、指标要求:氮气纯度大于99.5%,用变压吸附工艺.
6600m3/h高纯氮气纯化装置;用加氢除氧,联合脱氢脱氧联合净化工艺。
合同指标 要求:O2≤3ppm; H2≤7ppm; 露水点:≤-65℃;
实测指标: O2 ≤0.1ppm; H2≤1ppm; 露水点:≤-80℃
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