磁感应测量原理
当采用磁感应原理时，通过非铁磁性涂层从探头流向铁磁基体的大小测量涂层的厚度。相应的磁电阻的大小也可以测量，以指示涂层的厚度。薄膜厚度越大，磁电阻越大，磁通量越小。基于磁感应原理的测厚仪原理上可在磁性基体上设置非磁性涂层厚度。超过500的基板渗透率的一般要求。如果涂层材料是磁性的，且要求基材的透气性差异足够大（如钢板电镀）。当软芯的探头放置在被测样品上时，仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品使用指针式仪表来测量感应电动势的大小。仪器放大信号并指示涂层的厚度。近年来，在电路设计中引入了频率稳定、锁相和温度补偿等新技术，并利用磁电阻对测量信号进行调制。在微机上引入了专利设计的集成电路，大大提高了测量的精度和重复性（一个数量级）。现代的磁感应测厚仪、磁力测量的测厚仪0.1um涡流原理的测厚仪的原理、误差的误差为1%，其范围为10mm。
射线法和β射线法是一种非接触、无损测量方法，但设备复杂、价格昂贵，测量范围相对较小。由于放射源，用户必须遵守放射防护规定。X射线法可用于测量极薄涂层、双涂层和合金镀层。β射线法适用于原子序数大于3的涂层测量。只有测量薄导体绝缘层厚度时，才采用电容法。
随着科技的飞速发展，尤其是近几年微机技术的引入，磁涡流法测厚仪已朝着微型化、智能化、多功能、高精度、实用化方向发展。测量分辨率达到0.1微米，精度可达1%，大大提高了分辨率。它适用范围广，操作简单，成本低。是工业和科研中应用最为广泛的测厚仪器。
无损方法既不破坏包层，也不破坏基片。它的检测速度快，能使大量的检查工作经济化。
光学测厚仪是一种功能强大的非接触式薄膜测量方法。当薄膜厚度和光学常数在测量系统的范围内时，系统可以快速方便地测量。测量薄膜厚度时，对光谱反射有几种常见的误解。例如：
1、它只能测量薄膜的厚度，需要预先知道光学常数（折射率和消光系数）。
2、与椭偏仪相比，其精度较低；
3、只能同时测量一到两个厚度。这些误解反映了光谱反射仪没有得到充分利用的事实。其使用方法和数据分析有待进一步深化。光谱反射和椭偏仪间接测量的方法，我们需要建立一个模型，通过调整参数（厚度和光学常数），使模型与实测反射率曲线达到配合，以薄膜厚度的反演计算和广雪场数。椭圆偏振法考虑了光的偏振性，利用P波与s偏振光反射光的相位差。然而，光谱反射镜不使用相位差。薄膜对相位差具有很高的灵敏度，但相位差的灵敏度随薄膜厚度的增加而减小。
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