无线传感器网络是新兴的通信应用网络,其应用可以涉及到人类生活和社会活动的所有领域。因此,无线传感器网络将是未来的一个无孔不入的十分庞大的网络,需要各种技术支撑。目前,成熟的通信技术都可能经过适当的改进和进一步发展,应用到无线传感器网络中,形成新的市场增长点,创造无线通信的新天地。
无线传感器网络就是由部署在监测区域内大量的廉价微型传感器节点组成,通过无线通信方式形成的一个多跳自组织网络,其目的是协作地感知、采集、处理和传输网络覆盖地理区域内感知对象的监测信息,并报告给用户。 它的英文是Wireless Sensor Network, 简称WSN。 大量的传感器节点将探测数据,通过汇聚节点经其它网络发送给了用户。
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电容式压力传感器的温度特性好,所以国内对其温度效应的研究很少。但随着MEMS技术的发展,人们对传感器的性能要求越来越高,传感器的温度特性也开始受到人们的重视。接触式或非接触式压力传感器都存在一定的温度效应,如果能xc温度影响,保证良好的压力特性,将使得传感器具有更良好的应用前景。介绍基于SOI硅/硅键合工艺的接触电容式高温压力传感器的结构及测试装置,通过对传感器真空和大气环境下的高温测试来分析温度对传感器测试结果的影响。
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温度传感器及热敏元件
温度传感器主要由热敏元件组成。热敏元件品种教多,市场上销售的有双金属片、铜热电阻、铂热电阻、热电偶及半导体热敏电阻等。以半导体热敏电阻为探测元件的温度传感器应用广泛,这是因为在元件允许工作条件范围内,半导体热敏电阻器具有体积小、灵敏度高、精度高的特点,而且制造工艺简单、价格低廉。
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