净化工程是一个应用行业非常广泛的基础性配套产业,在电子信息、半导体、光电子、精密制造、医药卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大,净化工程是一个非常细致的过程,要关注到方方面面,下面就由大锐净化来简单讲一讲洁净室中的温湿度控制吧。
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以qc。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产樶佳湿度范围为35—45%。
层流手术室不仅要求高度洁净的空气(进入手术室的空气首先须经高1效过滤器净化),而且要求能控制气流的流通方向(即采用层流超净装置),使气流从洁净度高的手术区域流向洁净度低的区域,并带走和排出气流中的尘埃颗粒(尘粒)和細菌;层流是一股细小、薄层的气流,以均匀的流速向同一方向输送;净化气流的方向分为垂直层流式和水平层流式两种,下面我们与大锐净化一起来了解一下吧。
1空调净化需关注节能
空调净化是能耗大户,设计与施工中需关注节能措施。在设计中,系统及区域的划分,送风量计算,温度与相对温度的确定,洁净级别与换气次数的确定,新风比,风管保温,风管制作中的咬口形式对漏风率的影响,干管支管连接角度对气流阻力的影响,法兰连接是否漏风等以及空调箱、风机、冷水机组等设备选择无一不与能耗有关,所以,这些细节必须要虑到。
2风管要求经济与效率并重
在集中或净化空调系统中,对风管的要求是既经济又能有效地送风。前者要求体现在价格低廉,方便施工,运行成本,内表面光滑阻力小。后者是指严密性好,不漏气,不发尘,不积尘,不污染,可耐火、耐腐蚀、耐潮湿。
在运行中,有时候管件的局部阻力大大高于风管的沿程阻力,这种状况需要改善。管件主要有弯头、变径管三通及四通管。弯管的中心曲率半径应大于矩形风管的边长,圆形则采用1.25倍直径。大断面风管应在管内加导流片,以减少阻力。而在实际安装施工中,较少如此处理。对于变径管,不可突然变径,宜作成渐扩(缩)管,渐扩管每边扩展角应大于15°,渐缩管则每边收缩角不大于30°。矩形风管的三通要顺气流弯管弯曲分流,支管也应有一定的曲率半径。若要90°角分流,则应在弯头内加导流片。
层流手术室是采用空气洁净技术对微生物污染采取程度不同的控制,达到控制空间环境中空气洁净度适于各类手术之要求,由于手术室要严格控制低細菌数及低嘛醉气体浓度,所以层流超净装置的稳定性是层流净化手术室的重要验收指标,下面就由大锐净化来简单讲一讲吧。
强调
(1)进入手术室必须更换洗手衣裤、鞋帽。
(2)严格控制入室人数。
(3)尽量减少层流手术室的开门次数与时间(更不可将门打开不关),维持'相对密闭状态',以防外来污染的进入。
(4)手术前用酒精擦拭室内物品、医了程仪器、设备等。