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大行程压电陶瓷纳米定位平台
产品说明:
大行程纳米定位平台采用了{zg}精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。
特点:
● ESC系列平台可被用于常温和大气压环境,有些型号还可用于超高真空环境。
● ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构,其承载能力可高达数公斤,其俯仰,方位和转动角度偏差小于0.1mrad。
● 同时,其{zd0}行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外,可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。这个系列平台备有多种形式,尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。