移动型 ASM 390, ASM 392
上海伯东代理德国普发 Pfeiffer 移动型 ASM 390, ASM 392 全新上市！ASM 39X 系列是针对大型部件设计研发, 配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, ASM 392 内置2台涡轮分子泵, 可以加速检漏流程, 降低生产设备的停机时间, ASM 390, ASM 392 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间使其成为同类型中的佼佼者！
ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间,
3. 大尺寸彩色触摸屏, 无需工具即可旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 通过 CE 认证, ETL 认证, UL61010 合规, 符合 Semi S2 标准
6. 可用于半导体相关行业和平板显示器行业以及其他要求严苛的应用
上海伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:
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型号
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ASM 390
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ASM 392
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ASM 380 已停产
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检测气体
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
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对氦气的抽速
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10 l/s
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25 l/s, 内置2台分子泵
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7 l/s
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前级泵抽速
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35 m3/h
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进气口Max压力
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20 mbar
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20 mbar
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15 mbar
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无校准的启动时间(20°C)
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2 min
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2 min
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< 4.5 min
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进气口
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DN 40 ISO-KF
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响应时间
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< 1 s
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Interface, 选配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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≤ 55 dB (A)
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53 dB (A)
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重量
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125 kg
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130 kg
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110 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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1072 x 455 x 1025 mm
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1065 X 455 X 1025 mm
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移动型 ASM 390 应用案例
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激光器零件检漏
应用于航天领域的激光器零件检漏, 中空夹层设计, 仅在两端焊接密封, 真空模式下, 焊缝处漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
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氦质谱检漏仪减压器检漏
减压器主要用于半导体管路中气体减压, 调节气体压力, 减压器要求在真空模式下漏率小于 1X10-8 mbar l/S
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氦质谱检漏仪半导体用配管配件检漏
定制不锈钢管, 配件和歧管广泛应用于半导体厂务端, 用于输送高压氧气, 氢气等. 客户从现场量测管路, 然后对不同管路的口径进行焊接, 产品漏率值需要达到 <1E-9mar l/s
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氦质谱检漏仪热交换器检漏
对应用于工业的体积 >1000L 的热交换器进行检漏, 真空模式下, 漏率要求 1x10-6 mbar l/s.
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结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 伯东 Pfeiffer 提供完整的产品线, 从便携式氦质谱到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可定位, 定量漏点. 满足单机检漏, 也可集成在系统或 PLC.
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