上海伯东德国普发便携式氦质谱检漏仪ASM 310

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伯东企业（上海）有限公司

伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界{yl}的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有wq的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。

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便携式 ASM 310
上海伯东销售维修德国 Pfeiffer 便携式 ASM 310 设计紧凑, 重量仅 21kg, 占用空间小, 前级泵清洁无油, 通用电压, 满足无污染工艺要求. 便携式 ASM 310 是目前市场上同类型检漏仪中轻便紧凑的产品!
便携式 ASM 310 特性：
1. 集成无油真空系统: 隔膜泵 MVP 020 1.7 m3/h 粗抽能力 +
2. 支持真空或吸枪检漏模式, 重量仅 21 Kg
3. 氦气抽速 1.1l/s, 进气口压力 15 hPa
4. 丰富的可选配件: 吸枪, 遥控器, 小推车, 标准漏孔等, 兼容 RC 10 遥控器
5. 带有可伸缩手柄的灵巧设计
6. 可以在任意位置操作: 水平或垂直, 较低的维护
7. USB 接口, 方便数据传输,
8. 带有图像功能的大屏幕高亮度彩色触摸屏, 10种语言可选
氦质谱检漏仪 ASM 310
便携式 ASM 310 技术参数：

便携式	ASM 310
对氦气的最小检测漏率	真空模式 5E-13 Pa m3/s 吸枪模式 1E-8 Pa m3/s
检测模式	真空模式和吸枪模式
无油前级泵抽速	1.7m3/h
检测气体	4He , 3He, H2
响应时间	<1s
对氦气的抽气速度	1.1 l/s
进气法兰	DN 25 ISO-KF
进气口压力	15 hPa
通讯接口	RS-232
工作温度	10-40 °C
噪音水平	< 45 dB (A)
Interface	RS-232, I/O, USB
电压	90-240 V AC, 50/60 Hz, 通用电压
功耗	300 VA
启动时间	< 2 min
尺寸	350 X 254 X 415 mm
重量	21 kg

便携式 ASM 310 尺寸：
氦质谱检漏仪 AM 310
便携式 ASM 310 常用配件:

吸枪	遥控器 RC 10	2轮推车	运输箱

Pfeiffer 便携式 ASM 310 应用：
1. 半导体, 镀膜, 太阳能
2. 分析仪器, 科研, 加速器质谱
3. 工业, 电厂, 化工
4. 系统集成
上海伯东检漏仪客户案例

半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空. 采用负压法检漏. 漏率设置 5x10-11pa m3/s.
内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 应用于火星探测项目, 杜瓦封装器件采用真空模式检漏, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
超高真空真空度一般 < E-7 mbar, 为保证较高的真空度, 需要对整个真空系统的焊缝, 法兰口等怀疑有漏的地方进行泄漏检测. 为保证实验腔体的清洁干燥, 选择前级泵为干泵的氦质谱检漏仪

若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:

上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322                 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                   M: +886-939-653-958

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