▲真空室箱体:主要规格有800*1000mm、1000*1200mm、1200*1500mm、1500*1600mm、1800*1950mm,并可以根据客户具体要求设计非标产品。
▲夹具方式:采用公自转行星式齿轮结构,工件速度在1-15转/分钟可调,挂具有6轴、8轴、10轴、12轴等各种规格,适合不同大小尺寸的装饰、工具镀膜。
▲控制气体方式:采用质量流量计控制,进气稳定,反应速度快,可以配加自动压强控制。
▲靶:采用整体制造技术,结构合理而简单,维护更换靶材方便,具有自动/手动引弧功能。
▲电源:配置直流脉冲电源(电压、占空比可调节),逆变电弧电源。
▲抽气系统:采用国产品牌机械泵、罗茨泵、扩散泵,根据其真空室大小确定合理型号。也可以根据客户的需要配备分子泵或者进口泵等。
▲抽真空参数:从大气抽至5*104Pa控制系统可以选用手动控制;计算机控制,触摸屏面板控制。 |