MA300 图形电镀系列干膜光阻剂是一种具备自动检测能力、高效率、全水溶性的干膜光阻剂,可使用于内层和外层的应用。本产品在酸性蚀刻、盖孔与蚀刻和酸性电镀制程中均有突出表现。
特色及优点
高分辨率 -1-2 mil 线宽/线距
优质的贴合度-高良率
高附着力-高良率
优质的图像显示对比,具备自动光学检测能力
特有的感光速度-SS 7 at 30-40 mJ/cm2
项目
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单位
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MA312
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MA315
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备注
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厚度
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μm
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30
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38
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感度*1
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mj/cm2
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25
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30
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最短显影时间
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sec.
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20
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25
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附着力*1*2(L/S=X/250)
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μm
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25
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30
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解析度*1*2(L/S=X/X)
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μm
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25
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30
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盖孔孔径
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μm
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//
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6.5
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*1:MA315(SST=7/21):采用Stouffer21格曝光尺,推荐硬化格数的中心值的曝光能量,海圣平行光曝光机制作(UVE-HSP5K-11)
*2:1wt%Na2CO3,30℃,最短显影时间x2
*3:分辨率、解析度以及显影后图像。