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激光所用气体包括激光器工作和保护气体以及切割辅助气体。
激光器工作气体用于产生激光,保护气体用于保护光学器件、驱动光闸。激光器工作气体由氦气、氮气、二氧化碳气体按照一定比例混合,这个比例在工厂预定好,确保高性能,不要随便调整,比例不当,可能会造成激光系统的失效和高压电源的损害。激光器所用气体均为高纯度,均在99.99%以上.
切割辅助气体主要是N2或O2,有的材料切割可以使用压缩空气作为切割辅助气体。N2切割的切割面比较光亮;O2切割的切割面由于材料被氧化而发黑。切割辅助气体的纯度越高,切割面的质量越好。