洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子,有害气体,xj等之污染物排除,并将室内之温度,洁净度,室内压力,气流速度与气流分布,噪音振动及照明,静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间,亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度,温湿度及压力等性能之特性。
洁净室,亦称为无尘室,它是污染控制的基础,没有洁净室,污染敏感零件不可能批量生产,洁净室被定义为具备空气过渡,分配,优化,构造材料和装置的房间,其中特定的规则是操作程序以控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。
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