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技术:由科研单位生产企业提供 技术简介:详细讲解了{zx1}93项,多晶硅生产技术及工艺光盘(上)1.电热致动多晶硅柔性铰支承杠杆式微夹钳： 2.低温多晶硅薄膜晶体管全集成有源选址基板及制备方法： 3.具有多晶硅插头的半导体器件的制造方法： 4.多晶硅薄膜残余应变的在线检测结构及检测方法： 5.形成多晶硅的方法和在硅基材料中的MOSFET器件： 6.具有多晶硅层的薄膜晶体管、制造方法及平板显示器： 7.多晶硅薄膜晶体管的形成方法： 8.一种制备多晶硅的方法： 9.用于制造垂直DRAM中的钨/多晶硅字线结构的方法及由此制造的器件： 10.在半导体装置中形成多晶硅层的方法： 11.制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管： 12.光罩与应用其形成多晶硅层的方法： 13.无粉尘且无微孔的高纯度粒状多晶硅： 14.制造内层多晶硅介电层的方法： 15.制造多晶硅薄膜的方法及用其制造晶体管的方法： 16.制造多晶硅层的方法及其光罩： 17.包括多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器件及其制造方法： 18.减小微沟道效应的多晶硅刻蚀工艺： 19.避免沟槽底部毛边生成的多晶硅刻蚀工艺： 20.多晶硅薄膜晶体管的多晶硅膜的形成方法： 21.多晶硅膜的形成方法： 22.多晶硅膜的形成方法： 23.多晶硅薄膜制造方法以及使用该多晶硅薄膜的设备： 24.多晶硅薄膜的制造方法和用多晶硅薄膜制造的显示器件： 25.制作低温多晶硅薄膜的方法： 26.具有多晶硅熔丝的半导体器件及其微调方法： 27.一种制备多晶硅绒面的方法： 28.闪存储器用的多层叠层多晶硅栅的平整方法： 29.彩色多晶硅微粒及其制备方法： 30.半导体器件及制作一低温多晶硅层的方法： 31.改善栅极多晶硅层电阻值的方法： 32.形成具有粗糙表面的多晶硅的方法： 33.多晶硅薄膜晶体管制造方法： 34.多晶硅液晶显示器件的制造方法： 35.低温多晶硅薄膜晶体管基板： 36.低温多晶硅显示装置： 37.低温多晶硅薄膜晶体管及其制造方法： 38.低温多晶硅薄膜晶体管： 39.制造多晶硅层的方法： 40.多晶硅层结构与其形成方法以及平面显示器： 41.低温多晶硅薄膜晶体管及其通道层的制造方法： 42.包括多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置及其制造方法： 43.半导体元件与其中的多晶硅薄膜晶体管及其制造方法： 44.提高深亚微米多晶硅栅刻蚀均匀性的方法： 45.制造双层多晶硅可改写非挥发性存储器的方法： 46.多晶硅氢还原炉： 47.制造双层多晶硅存储器元件的方法： 48.具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法： 49.15-50纳米线宽多晶硅栅的刻蚀方法： 50.一种纳米线宽多晶硅栅刻蚀掩膜图形的形成方法： 51.底栅控制型多晶硅薄膜晶体管的制造方法： 52.利用双镶嵌工艺来形成T型多晶硅栅极的方法： 53.形成T型多晶硅栅极的方法： 54.形成具高电阻值的多晶硅薄膜的方法： 55.利用双镶嵌工艺来制造T型多晶硅栅极的方法： 56.应用于高效能薄膜晶体管的多晶硅退火结构及其方法： 57.低温多晶硅显示装置及其制作方法： 58.一种抑制多晶硅针孔的多晶硅层缓冲局部场氧化硅结构工艺方法： 59.低温多晶硅薄膜电晶体基板及其制作方法： 60.多晶硅化金属栅极结构及其制造方法： 61.多晶硅氢还原炉： 62.多晶硅氢还原炉： 63.形成多晶硅锗层的方法： 64.具有多晶硅薄膜晶体管的平板显示装置： 65.多晶硅薄膜晶体管阵列板及其制造方法： 66.低温多晶硅薄膜的制造方法： 67.集成电路多晶硅高阻电阻的制作方法： 68.半导体元件和在其中形成多晶硅层的制造方法： 69.三维多晶硅只读存储器及其制造方法： 70.陶瓷衬底多晶硅薄膜太阳能电池： 71.多晶硅薄膜晶体管离子注入机： 72.多晶硅的定向生长方法： 73.制备多晶硅的方法： 74.多晶化方法、制造多晶硅薄膜晶体管的方法及用于该方法的激光辐照装置： 75.利用自行对准金属硅化物制程形成多晶硅电容器的方法： 76.基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法： 77.多晶硅的蚀刻方法： 78.形成多晶硅结构： 79.形成多晶硅层及多晶硅薄膜晶体管的方法： 80.多晶硅层的处理方法： 81.形成多晶硅层的方法： 82.多晶硅薄膜的制造方法： 83.低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法： 84.多晶硅薄膜的制造方法： 85.多晶硅层的结晶方法： 86.于基板上形成多晶硅层的方法： 87.形成低温多晶硅薄膜晶体管的方法： 88.多晶硅薄膜晶体管液晶显示器的电路布局方法： 89.低温多晶硅薄膜晶体管的制作方法： 90.薄膜晶体管的多晶硅制造方法： 91.多晶硅薄膜的制造方法： 92.低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法： 93.利用准分子激光再结晶工艺来制作多晶硅薄膜的方法：
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