EL-FLOW®Select -实验室应用
气体质量流量计/控制器
简介
EL-FLOW® Select 系列质量流量计/控制器,拥有专门为‘实验室应用所设计的PC板模块化结构。控制阀可以是一体的,也可以是分体的。可测量和控制的气体流量范围:
流量可达0,014...0,7 mln/min
流量可达 8...1670 ln/min
该款质量流量控制器的控制阀设计有别于其它竞争产品的设计,它是真正的模块化结构,并且可以在设备安装现场不用作任何调整即可更换。标准通用的阀门是常关阀,Kv值可高达1.5 。也可根据要求提供常开阀门的产品。
对于高(差)压的运用领域,通过 EL-FLOW®程序产品的专利结构的设计使其能处理不同压力环境下的高流量压差和/或者高压差,可达400 bar,目前该产品在同类产品市场中是先进的。更多有关于高压力质量流量测量仪表/控制器。
数字= 标准
所有型号的EL-FLOW Select系列的产品都装有一个数字集成电路板,并且拥有 ’自我诊断‘ 、‘ALARM‘、‘计数‘功能;除此之外,还拥有‘数字通讯‘ 和 ‘可调节的远程控制‘ 设置。多亏‘多总线‘ 设计思路,使得这些数字式设备拥有了极大的灵活性,从而使得这些设备都可以与如下任意通讯协议的板载接口组装:EtherCAT®, DeviceNet™, Profibus-DP®, Modbus-RTU 或者FLOW-BUS等协议。 更多有关于数字‘总线‘通讯的资料。
可选配多介质/多量程
EL-FLOW Select 的设备可以提供带有可选配的多介质/多量程的功能。该可选性提供了极大的灵活性,尤其是在选择流量范围和气体类型的时候,使其在测量或者控制的时候保持高jq性和更大的量程比。正因为该功能的存在,在产品安装现场可以重新设置仪表的测量范围,由此节省了时间和成本。为了方便使用,公司还特别设计出了一个易于操作和使用的软件,命名为‘ Flow Tune', 该软件是专门用来jh‘多介质‘/’多量程‘可选功能的调节或者改变仪器配置而设计的。
特点
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高jq度 (标准 0,5% Rd + 0,1% FS)
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在数字模式下的量程比可达 1:187,5
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反应灵敏(为200 msec),重复性能好
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可选配 ‘多气体‘/’多范围‘:可自由编程流量范围和气体类型
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压力等级64/100bar (10bar以下可选配多介质/多量程功能)
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可选高压版本
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模拟 I/O-信号, RS232-连接; 可选的板载总线接口
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所有的表面都经过了电化学抛光处理
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紧凑,模块式结构
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可选配金属密封和/或者上下连接式结构
应用领域
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分析/环保设备
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在食品,化学和石化行业中气体流量的监控
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气体消耗监测和核算
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通过相应对象来检测气体的泄漏情况
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半导体制造业
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表面处理装置
可测量范围 (以空气为介质):
质量流量计 (MFM);
PN100 (压力等级 100 bar)
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量程
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系列 F-110C
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min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,06 ... 9 mln/min
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系列 F-111B
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min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,16 ... 25 ln/min
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系列 F-111AC
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min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
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系列 F-112AC
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min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 1,4 ... 250 ln/min
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系列 F-113AC
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min. 4 ... 200 ln/min
max. 8 ... 1670 ln/min
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质量流量控制器 (MFC);
PN64 / PN100
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量程
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系列 F-200CV / F-210CV 1)
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min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,06 ... 9 mln/min
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系列 F-201CV / F-211CV 1)
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min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,16 ... 25 ln/min
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系列 F-201AV / F-211AV 1)
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min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
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系列 F-202AV / F-212AV 2)
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min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 1,4 ... 250 ln/min
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系列 F-203AV / F-213AV 2)
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min. 4 ... 200 ln/min
max. 8 ... 1670 ln/min
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1) 标准设备是带一个小型的控制阀
2) 用于大流量时,使用带先导阀的控制阀