应用及特性:
在半导体厂内的超纯水处理系统是一庞大的,复杂的系统,并包含了许多不同的单元,而整个系统的功能及设计主要是为了得到{jz}的超纯水。虽然没有任何单一的单元可以确保最终的采水水质,但是终端精制混床是超纯水在接触到半导体芯片前的{zh1}一道化学精制的处理程序,其重要性是不可忽视的。不像对化学物质呈现惰性的管路及过滤材料,离子交换树脂是带化学性反应的聚合物,所有的待处理水会wq的通过树脂,因此精制混床树脂是除去微量化学污染物质的{zh1}一道防线。除此之外,这些树脂绝不能释出任何物质,进而污染到不能间断的超纯水供水系统。因为这些严格的条件,终端精制混床树脂必须是{zg}的品质,且同时必须是正确的被使用的。
列的说明将提供所谓的正确使用所需要的相关数据,以期AMBERJETUP6040可以得到{zj0}的效能。
终端精制的设计概念:
现今的超纯水讨论的是兆分之一(ppt)不纯物的范围,在如此的严格的要求下,终端精制混床树脂的设计是没有任何弹性的。此终端精制混床树脂的使用必须确保除去所有的不纯物,例如前端制程所可能导入的再生剂化学残余物质等。在水力的设计上,必须确保采水周期时水流分布是均匀的,同时压差及离子交换速率也必须是平衡的。此最终精制的效能,必须是在可信赖的设备及可负担的成本考量下被确保的。整个系统必须是精简的、易操作及不容易故障的。大部份的超纯水系统工程师及供货商会考虑使用不再生型的终端精制混床树脂来达到上述dui{zh1}精制系统的要求。而AMBERJETUP6040正是wq符合这些要求的{zj0}选择。在正确的不再生精制器的设计及操作下,AMBERJETUP6040树脂可以符合成本、效能、使用寿命等的要求及最重要的可信赖性。
建议入水水质
入水水质>17MW-cm
入水二氧化硅浓度<2ppb
入水总有机碳浓度(TOC)<15ppb
1.此树脂可用于此建议之外的操作条件,但结果可能不是{zj0}的。
2.1BV(床容积)=每1m3树脂为1m3溶液
树脂基本特性:
在不再生的终端精制应用上,超纯水的质量是远较树脂的基本特性来的重要,但暸解所使用的树脂特性以
得到{zj0}的效能及最长使用寿命仍然是不可忽视的。AMBERJETUP6040的主要树脂特性如下表所示,这些
数据显示了组成AMBERJETUP6040的阳阴树脂特性,而这些特性赋予AMBERJETUP6040高交换容量、均一
颗粒大小等的严格树脂标准。
Table2:TypicalPropertiesofAmberjetUP6040ComponentResins
阳树脂H+阴树脂OH-
含湿量,%44.0-51.054.0-60.0
总交换容量,eq/L³2.00³1.10
均一系数£1.20£1.20
H型,%含量³99-
OH型,%含量-³95.0
Cl型,%含量-£0.5
CO3型,%含量-£5.0
SO4型,%含量-£0.1[1]