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洁净车间的测试:
1.送风量与排风量:如果是紊流洁净车间,那么就要测量其送风量与排风量。若为单向流洁净车间,则要测量其风速。
2.各区之间的气流控制:为证明各区之间气流运动方向正确,也就是从洁净区向洁净度差的区域流动,必须检测: (1)各区间的压差正确; (2)门口处或墙、地板等处的开口处气流运动方向正确,即从洁净区向洁净程度差的区域流。
3.过滤器检漏:对{gx}过滤器及其外框要进行检验,以保证悬浮污染物不会穿过 (1)损坏了的过滤器; (2)过滤器与其外框间的缝隙; (3)过滤器装置的其他部位而侵入室内。
4.隔离检漏:这项测试是为了证明悬浮污染物不穿过建筑材料侵入洁净车间。
5.悬浮粒子浓度和微生物浓度:如果上述这些测试满足要求,则{zh1}对粒子浓度和微生物浓度(需要时)进行测量,以便验明其符合洁净车间设计的技术条件。
6.室内气流控制:气流控制测试的类型要依洁净车间的气流模式——是紊流还是单向流而定。若洁净车间气流为紊流,则必须验明室内没有气流运行不足的区域。若是单向流洁净车间,则必须验明整个室内的风速和风向是符合设计要求的。
7.其他测试:除了上述这些污染控制方面的测试以外,有时还必须进行下述一项或若干项测试: ●温度●相对湿度●室内加热与冷却容量●噪声值●光照度●振动值
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洁净车间是否达标有哪些测试标准?
为证明洁净车间工作得令人满意,必须证明其满足了下述准则的要求: 1.洁净车间的送风量充足,足以稀释或xc室内产生的污染。 2.洁净车间的送风不会显著增加室内的污染。 3.洁净车间内的空气是从洁净区向洁净程度差的区域流动,受污染空气的流动达到{zd1}程度,空气在门口处和室内建筑中的流动方向正确。 4.室内空气的运动状态可保证密室内没有高浓度聚集区域。 如果洁净车间达到了上述这些准则的要求,就可以测量其粒子浓度或微生物浓度(必要时),以确定其达到了规定的洁净车间标准。
洁净室是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、xj等污染物排除,并将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。
按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非{bfb}没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方英寸1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。