简单的讲,Varian Turbo-V 81-M比Varian Turbo-V 81-T高级一些,从“身高”来看就高一些
Varian TURBO Pump Controllers V-70常见用于较老款半导体设备,各类检测仪器的小型真空腔体上.
由于涡轮级有较大的抽气面积,抽速很大,而牵引级沟槽抽气面积较小,在两种结构的联接处,由涡轮叶片压缩下来的气体分子的流动方式突然转变,使气体分子的运动在联接处由有序变成无序,至使返流增加,抽气能力下降。
Varian Turbo-V 81-T和varian TV81-M,转速都是80000,DN63口径时,抽速都是77L/s,
启动时间都是60秒,分子泵电源可以相互通用,他们差别在哪里,很多人不清楚。