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降低洁净室污染值
降低洁净室的污染值也有利于药厂洁净室的节能。洁净室空气的主要污染源不是人,而是新型建筑装饰材料、清洁剂、粘接剂、现办公用品等。因此,使用低污染值的绿色环保材料可使药厂洁净室的污染状态很低,这也是减少新风负荷,降低能耗的很好的途径。
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污染是可能将新兴的芯片生产工业扼杀于摇篮中的首要问题之一。半导体工业起步于由航空工业发展而来的洁净室技术。如今,大规模的复杂的洁净室辅助工业已经形成,洁净室技术也与芯片的设计及线宽技术同步发展。通过不断地解决在各个芯片技术时所存在的污染问题,这一工业自身也得到了发展。以前的一些小问题,有可能成为当今芯片生产中足以致命的缺陷。半导体器件极易受到多种污染物的损害。这些污染物可归纳为以下四类。分别是:1. 微粒 2. 金属离子 3. 化学物质 4. xj
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洁净室测试:
测试项目bao括得不限于洁净空调系统的风量平衡,FFU送风量,扫描检漏,洁净度测试,正压,温度,湿度,照
度,噪音,气流组织防静电等项目的测试,具体的测试项目按标准,规范执行.含测试所需的所有材料,设备
及仪器,人力等
1测试前须作出详细的测试方案经审批后才能进行实施
2测试人员须有相关经验并具有相应资质
3所有的测试仪器经检验合格并在有效期内
4 出具详细的测试报告
5洁净室的测试必须有具有相关测试资质的第三方机构出具的测试报告
6洁净室的验收以第三方测试报告为依据进行验收