复合式
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域{bfb}覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线bao围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部洁净室(Clean Spot):将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。洁净工作台:等级Class 1~100级。洁净工作棚:为在乱流式之洁净室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用独立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。
【美清净化工程像您推荐——洁净室】
什么是洁净室首先高校师生对洁净室的概念存在误区, 大部分师生都称之为无菌室, 事实上{jd1}无菌的空间是很难获得的, 更专业的称呼如题名应该叫“洁净室”。那什么样的空间可以称之为“洁净室”呢?以下从概念、状态、气流形式、分级几个方面来阐述。同时引申一个问题, 洁净到什么样的程度才可以符合实验要求? 概念:对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间和区域,其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域污染的介入、产生和滞留的功能。其他相关参数如温度、湿度、压力也有必要控制。 状态:静态 (at-rest)指净化空气调节系统已安装完毕且功能完备的情况下,洁净室内工作人员撤离现场并经过20 min自净后的状态。动态(operational)指洁净室处于正常工作状态, 设备正常运行,并且有指定的人员按照规范操作。对于高校师生来讲更应该关注动态的监测结果。
控管项目
1、能除去空气中飘游之微尘粒子。
2、能防止微尘粒子之产生。
3、温度和湿度之控制。
4、压力之调节。
5、 有害气体之排除。
6、结构物与隔间之气密性。
7、静电之防制。
8、电磁干扰预防。
9、安全因素之虑。
10、节能之量。