特点：
测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、{gx}率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
特点：
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学模块
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度
技术规格参数：
|
型号
|
MTM-3020MA
|
|
工作台
|
金属台尺寸(mm)
|
500 x 330
|
|
玻璃台尺寸(mm)
|
350 x 250
|
|
X、Y轴运动行程(mm)
|
300 x 200
|
|
手动Z轴行程(mm)
|
120
|
|
自动Z轴行程(mm)
|
2
|
|
外形尺寸(mm)
|
825 x 660 x 910
|
|
仪器重量(kg)
|
130
|
|
X、Y、Z轴分辨力(μm)
|
0.5
|
|
自动Z轴分辨力(μm)
|
0.1
|
|
示值误差(μm)
|
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度，单位mm)
|
|
物镜放大倍数误差
|
包括畸变在内的放大率误差≦0.08%
|
|
落射照明光源
|
可调高亮度卤素灯
|
|
底光照明光源
|
可调高亮度LED灯源
|
|
|
目视系统
|
影像系统
|
|
物镜放大倍数
|
5X、10X、20X、50X
|
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜
|
|
目镜放大倍数
|
10X双镜筒
|
1/2”CCD摄像机
|
|
视频总倍率
|
50X ~500X
|
142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900)
|
|
单层透明膜厚度测量模组
|
|
高精度测量模式
|
快速测量模式
|
|
厚度测量范围
|
100nm ~300nm
|
300nm ~500nm
|
500nm ~3μm
|
3μm ~20μm
|
|
分辨力
|
5nm
|
5nm
|
7.5nm
|
0.1μm
|
广告
